Contact
UF3000:
1.wafer进去prober后,默认probercard不会跟chuck上的wafer接触。
2.通过prober界面上的按钮向上移动,使得prober card和wafer的距离为零,此时仅意味着prober card上面有Needle和wafer有接触。
3.此时调用contact程序向上移动chuck使得wafer与prober card上面的Needle全部接触,也即site上面的计数要全部pass。
4.最后再向上移动增加prober card盒子上的OD(over driver)值。
5.可以测试啦
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