原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）微电子制造铜金属化的研究进展

Atomic Layer Deposition (ALD) and

Chemical Vapor Deposition (CVD)

of Copper-based Metallization

for Microelectronic Fabrication

原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）微电子制造铜金属化的研究进展的更多相关文章

  1. PVD与CVD性能比较

    PVD与CVD性能比较 CVD定义: 通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程. CVD技术特点: 具有淀积温度低.薄膜成分和厚度易于控制.均匀性和重复性好.台阶覆盖优良.适用范围广.设备 ...

  2. [IC]Lithograph(0)半导体制造的基本过程

    1. 晶圆片 Wafer 晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆.晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片. 半导体行业从图1到图2,是一 ...

  3. ALD对照CVD淀积技术的优势

    ALD对照CVD淀积技术的优势 ALD 适合制备很薄的高K金属氧化物层,对腔室的真空度要求比较高,对反应气体源及比例的要求也较高. 目前沉积速率还是比较慢,大大限制了其在工业上的推广应用,不过随着设备 ...

  4. CVD和ALD薄膜沉积技术应用领域

    CVD和ALD薄膜沉积技术应用领域 显示 用于OLED.QD-OLED.甚至未来QLED的薄膜封装,通过有机/无机叠层结构的保护,水汽渗透率WVTR可降至10-5g/m2/day,保证OLED或者量子 ...

  5. ALD和CVD晶体管薄膜技术

    ALD和CVD晶体管薄膜技术 现代微处理器内的晶体管非常微小,晶体管中的一些关键薄膜层甚至只有几个原子的厚度,光是英文句点的大小就够容纳一百万个晶体管还绰绰有余.ALD 是使这些极细微结构越来越普遍的 ...

  6. ALD技术，相机去噪，图像传感器

    ALD技术,相机去噪,图像传感器 1. 作为镜片的防反射涂层技术被关注的ALD(atomic layer deposition)的引入趋势. (a)为什么需要一种新的防止反射的涂层技术? ALD被认为 ...

  7. 摄像头PVD和CVD薄膜

    摄像头PVD和CVD薄膜 在FDP 的生产中,在制作无机薄膜时,可以采用的方法有两种:PVD 和CVD (将VE 和VS 归于PVD ,而ALD 归于CVD). Physical Vapor Depo ...

  8. ALD技术产品形态

    ALD技术产品形态 原子层沉积研究设备 TFS 200是适合科学研究和企业研发的最灵活的ALD平台.倍耐克 TFS 200专门设计用于多用户研究环境中把可能发生的交叉污染降至最低. 大量的可用选项和升 ...

  9. 石墨烯（转自wiki）

    石墨烯(Graphene)是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜,只有一个碳原子厚度的二维材料[1].石墨烯一直被认为是假设性的结构,无法单独稳定存在[1],直至2004年,英国 ...

随机推荐

  1. 【DB宝50】Oracle异构平台迁移之完全可传输导出导入（Full Transportable Export & Import）

    目录 一.简介 1.1.使用场景 1.2.限制条件 二.完全可传输操作步骤 三.案例演示 3.1.环境 3.2.源库操作 3.2.1.将需要传输的用户表空间设置为RO状态 3.2.2.使用Data P ...

  2. dalvik浅析二：jni、so

    android大多使用java来开发,java中有个概念叫jni.当然说到jni,必然是少不了native code.在android中就是so库.我们来分析下jni在android dalvik的使 ...

  3. PowerShell-1.入门及其常用

    PowerShell可以理解成是加强版的批处理,但是和批处理完全不同,比如可以调用API等.应用场景平时使用的用户机基本都支持了(出了XP). 常用情节:便捷快速开发,或者是**(因为不存在自己的PE ...

  4. <JVM下篇：性能监控与调优篇>补充：浅堆深堆与内存泄露

    笔记来源:尚硅谷JVM全套教程,百万播放,全网巅峰(宋红康详解java虚拟机) 同步更新:https://gitee.com/vectorx/NOTE_JVM https://codechina.cs ...

  5. 初入MongoDB

    初入MongoDB 业务需求,需要用到MongoDB.向来一直是mysql数据库的思想,一下转换为nosql还是很不适应.经过一个月的开发,写一下自己的感触.本文会对应mysql数据库进行说明. 数据 ...

  6. C++逆向分析----虚函数与多层继承

    虚函数 C++通过关键字virtual来将函数声明为一个虚函数.当一个类包含虚函数后编译器就会给类的实例对象增加一个虚表指针,所谓的虚表指针就是指向虚表的指针.虚表就是一张地址表,它包含了这个类中所有 ...

  7. [MySQL数据库之数据库相关概念、MySQL下载安装、MySQL软件基本管理、SQL语句]

    [MySQL数据库之数据库相关概念.MySQL下载安装.MySQL软件基本管理.SQL语句] 数据库相关概念 数据库管理软件的由来 数据库管理软件:本质就是个C/S架构的套接字程序. 我们在编写任何程 ...

  8. Let's go!

    第一次开通博客 心情还是很激动的,而且做出了这么好看的页面虽然都是用的别人的组件,自己不是很知道原理但是也很开心,以后会将自己学习的东西写成笔记发在上面

  9. welcome实现首页路由的重定向效果

    welcome实现首页路由的重定向效果 1.创建welcome组件 2.在路由中引入组件并配置子组件 3.在home.vue中添加路由占位符 4.测试

  10. [Java] Tomcat 部署

    背景 免费web服务器,Apache组织发布,Sun公司开发 基于Java,平台无关 可部署Web应用,为客户端提供服务 使用 启动 运行 \tomcat\bin\startup.bat 出现&quo ...