现在市场上的MEMS陀螺仪主要有SYSTRON、BOSCH和INVENSENSE设计和生产。前两者设计的陀螺仪属高端产品,主要用于汽车。后者的属低端产品,主要用于消费类电子,象任天堂的Wii。ADI2003年宣布设计和制造出了Z轴陀螺仪ADXRS300,但是没有正式成为产品。下面主要介绍和比较三家公司的陀螺仪的设计、加工和性能。

一、Systron Donner “MICROGYRO”

MEMS传感器:双石英调音叉

信号处理:混合信号架构,数字和模拟输出;开放回路;两个用于加速度传感器的A/D通道

封装:MEMS封装在陶瓷腔体中并跟ASIC一起封装在塑料腔体中。

缺点:成本较高

Systron Donner “MICROGYRO” 

二、博世BOSCH SMG 070 

MEMS:平面MEMS;Z轴

信号处理:闭合回路;混合模式;自测试

缺点:尺寸太大

  
BOSCH SMG 070 

BOSCH SMG 070原理图

三、INVENSENSE IDG 300 

MEMS:体加工技术;用ASIC作封盖并提供收集和驱动信号的电极

信号处理:开路;模拟

缺点:无零点修正;温度导致+/-50度/秒的漂移。(汽车电子要求+/-1.5度/秒)

  
INVENSENSE IDG 300

INVENSENSE IDG 300 原理图

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