Digital Micromirror Device

DMD技术于1987年被发明，到1996年春走向市场。DMD是一个真正的微光机电系统(MOEMS),该器件是利用CMOS工艺和微机械加工(MEMS)的方式制造出来的，有数以百万计的微小微镜阵列单元组成，一个微镜就是一个像素。CMOS工艺用来确定每一个微镜的单元地址，并有控制电极通过施加电压控制微镜偏转。

Reference

http://blog.sciencenet.cn/blog-278905-727685.html

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