一般加速度计有两块芯片组成,一块是MEMS传感器,另一块是客户化的信号处理芯片. 加速度计也称惯性传感器,因为它的工作原理就是靠MEMS中可移动部分的惯性.由于中间电容板的质量很大,而且它是一种悬臂构造,当速度变化或者加速度达到足够大时,它所受到的惯性力超过固定或者支撑它的力,这时候它会移动,它跟上下电容板之间的距离就会变化,上下电容就会因此变化.电容的变化跟加速度成正比.根据不同测量范围,中间电容板悬臂构造的强度或者弹性系数可以设计得不同.还有如果要测量不同方向的加速度,这个MEMS的结构会有…