PMU(Precision Measurement Unit,精密测量单元)用于精确的DC参数测量,它能驱动电流进入器件而去量测电压或者为器件加上电压而去量测产生的电流.PMU的数量跟测试机的等级有关,低端的测试机往往只有一个PMU,同过共享的方式被测试通道(test channel)逐次使用:中端的则有一组PMU,通常为8个或16个,而一组通道往往也是8个或16个,这样可以整组逐次使用:而高端的测试机则会采用per pin的结构,每个channel配置一个PMU. 1 驱动模式和测量模式(Fo…