在气体分析仪使用过程中,为了力求分析结果的准确性,一般要求通过的气体流量尽可能的稳定.为了保证流量控制的稳定,我们采用PID调节来控制气路阀门的开度. 1.硬件设计 我们采用的流量计为气体质量流量计,采用热式原理,输出0-5VDC的信号.该流量计如下: 鉴于该流量计的特性,我们设计如下的采集电路来完成流量数据的采集,具体原理图如下: 对于流量控制阀我们选择了电动比例调节阀,该阀给的电压不一样时,其开度是不一样的,所以可以通过PWM来控制其在0-100%的范围内开关,从而获得我们需要的流量. 关于…