ALD对照CVD淀积技术的优势 ALD 适合制备很薄的高K金属氧化物层,对腔室的真空度要求比较高,对反应气体源及比例的要求也较高. 目前沉积速率还是比较慢,大大限制了其在工业上的推广应用,不过随着设备技术的不断进步,包括ALD系统,前景还是很值得期待的. ALD 除了常规的半导体高K 材料,太阳能等领域,军事上的用途: MCP , 热和快中子探测等领域. 应用范围会越来越广,只是,沉积速率,成本和价格的问题,在制约推广. 如果说严重不足应该是源的问题,不像CVD的源那样广 有了合适的源,ALD才